在蒸发沉积过程中，真空室中的源材料通过加热或电子束轰击进行蒸发。在蒸发过程中，蒸汽冷凝到光学表面并控制加热、真空压力、基片定位和旋转，使特定设计厚度的光学镀膜保持均匀。等离子溅射包括一系列已知技术，包括---等离子溅射和磁控溅射。一般概念来源于等离子体的产生。等离子体中的离子随后加速进入源材料，撞击出松散的高能源离子，然后溅射到目标光学元件上。
可见有镀膜的玻璃会增加透光度。此外由此公式，精密真空镀膜，我们可以计算光线穿透镜片的两面，发现即使一片的透镜（折射率1.8），精密真空镀膜批发价格，其透光度约为85%左右。若加上一层镀膜（折射率1.5），精密真空镀膜订制，则透光度可达91%。可见光学镀膜的重要性。由于薄膜的物理厚度保持不变，这种折射率升高伴有相应的光学厚度的增加，反过来造成薄膜光谱特性向长波方向的漂移。
我们已经知道透光度与镀膜的折射率有关，但是却无关于它的厚度。可是我们若能在镀膜的厚度上下点功夫，会发现反射光a与反射光b相差 nc×2d 的光程差。
镀膜常用设备：电子束蒸发、热蒸发。
常用镀膜材料：氧化、氧化铝、氧化铪、ito、一氧化硅，二氧化硅、五氧化二钽、五氧化二铌、氧化钛、金、银、铜、铬、铬镍合金、铝、钛。
温度范围：20-300℃。
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